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智能母線測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于廈門士蘭集科12英寸生產(chǎn)線

發(fā)布時(shí)間：

2021-12-07 20:38

廈門士蘭集科半導(dǎo)體項(xiàng)目，總投資170億，是福建省投資最大“重中之重”的項(xiàng)目工程。規(guī)劃建設(shè)兩條12英寸90～65nm的特色工藝芯片生產(chǎn)線和一條4/6英寸兼容先進(jìn)化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線。

該項(xiàng)目潔凈廠房一期采用2套智能母線測(cè)溫系統(tǒng)和1臺(tái)數(shù)據(jù)服務(wù)器。